SPD方式小型低コスト成膜装置！最大基盤サイズは25mm x 25mm
SPD方式小型低コスト成膜装置です。 最大基盤サイズ： 25mm x 25mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。 こちらのカタログは英語版となっております。
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企業情報
大学在職中に手掛けた化学的薄膜形成技術の実用化を目指して当研究所を設立しました。関連装置の製作と合わせて、この技術によって作製した各種薄膜を部材とするエネルギー供給と環境保全に役立つ新規色素増感太陽電池システムの開発を目指しています。製品はいずれも世界最高水準を達成させる所存です。