手のひらに乗るサイズの小型のベローズポンプで接液部は全てフッ素樹脂(PTFE/PFA)を使用し高純度薬液の移送にも使用可能です。
White Knight社が開発した低価格且つ小型のベローズポンプで、接液部にO-リングを使用しておらずコンタミ等の発生の心配がありません。また、ボディシール部にはWhite Knight社独自のシール技術を用いているため、増し締めなどのメンテナンス作業が不要です。ポンプ本体も含め100%ノンメタルの為、汚染、腐食の心配がありません。
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基本情報
1ストローク吐出量:13ml 最大吐出量:500ml/min 最大吐出圧:0.2MPa 薬液対応温度:0~100℃ 揚程:0.91m 駆動用空圧:0.14~0.68MPa ドライライン対応 接液部:PTFE/PFA 自由取付方向対応 リークフリー構造 各種継手仕様対応
価格情報
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納期
用途/実績例
洗浄装置、薬液供給装置 酸、有機系薬液供給
詳細情報
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サイズも小型 手に乗るほどの小型サイズになっております。
企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。