ウエハ搬送ロボット搭載による4探針法！全自動測定ソーター
『WS-8800』は、フルオートタイプ（全自動測定システム）の接触式 抵抗測定器です。 厚さ測定、PN測定、温度測定に対応可能です。（シリコンウエハ） カセット数はいくつでも対応することができます。 また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■全自動 ■セルフテスト機能、広範囲測定レンジ ■厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率(比抵抗)測定） ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【測定仕様】 ■測定対象：半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） ■測定サイズ：3～8インチ（または12インチ） ■測定範囲 ・抵抗率：100μ～1MΩ/cm ・シート抵抗：1m～10MΩ/sq ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。
