真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構のフェローシール
『マルチプロセスフェローシール』は、現在のさまざまな半導体プロセスにおける 真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構と同時に リニアモーション対応もご用意できます。 更には10⁻⁶Paの超高真空プロセスにも対応可能な製品もご用意しております。 【特長】 [同軸2軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ [3軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する高剛性タイプ [同軸3軸リニアモーションタイプ] ■同軸3軸構造でありながら、高い振れ、回転精度を実現する高剛性タイプ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ・主な仕様】 [同軸2軸タイプ] ■耐真空度 Pa[Torr]：10⁻⁶[10⁻⁸] ■耐差圧[kg/cm²]：2.0 [3軸タイプ] ■耐真空度 Pa[Torr]：10⁻⁶[10⁻⁸] ■耐差圧[kg/cm²]：2.0 [同軸3軸リニアモーションタイプ] ■耐真空度 Pa[Torr]：10⁻⁶[10⁻⁸] ■耐差圧[kg/cm²]：2.0 [ガスパージタイプ] ■耐真空度 Pa[Torr]：10⁻⁶[10⁻⁸] ■耐差圧[kg/cm²]：2.5 [ガス循環タイプ] ■耐真空度 Pa[Torr]：10⁻⁶[10⁻⁸] ■耐差圧[kg/cm²]：3.5（ゲージ圧） [高真空タイプ] ■耐真空度 Pa[Torr]：10⁻⁷[10⁻⁹] ■耐差圧[kg/cm²]：2.5 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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用途／実績例
【使用例】 [同軸2軸タイプ] ■ウェハー搬送真空ロボット（スカラータイプ）用途 [3軸タイプ] ■LCD大型ガラス基板搬送真空ロボット（フロッグアームタイプ）用途 [同軸3軸リニアモーションタイプ] ■300mmウェハー搬送またはLCD搬送大型ガラス基板搬送真空ロボット用途 [ガスパージタイプ] ■腐食ガス、及び析出物を生成するCVD装置やファーネス用途 [ガス循環タイプ] ■管球製造装置のロータリーガスユニオン用途 [高真空タイプ] ■超高真空プロセス対応装置用途 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
株式会社フェローテックホールディングスは、「装置関連事業」「太陽電池関連事業」「電子デバイス事業」という製品用途と市場分野に応じた３つの事業セグメントで積極的な事業活動を展開しています。新エネルギー産業およびエレクトロニクス産業では、高品質な製品やサービスを提案し、コスト競争力のある製品やサービスを提供しております。また、地球環境に配慮した活動を積極的に推進することを経営上の重要課題の一つとしており、最新の環境規制要求への適応を順次進め、新エネルギー産業で活用できる素材・製品などを開発し、地球環境問題の解決に貢献しています。株式会社フェローテックホールディングスは、コア技術を活用したものづくりを通して社会に貢献し、顧客、株主、社員、取引先、地域社会などステークホールダーの方々が成長する楽しみを持てる企業であり続けます。
