ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能！ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に
『Dyvoceシリーズ』は、被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる 非接触形状測定システムです。 使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、 高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術 により、様々な測定が可能。 ラインアップ以外のステージサイズ（測定領域）に関しては、 ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に好適 ■使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備 ■ワークに合わせた専用ホルダの製作も対応 ■御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っている ■実際に測定を試していただくことも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【機能】 ■測定駆動 ・Dyvoce Measure（形状測定ソフトウェア） ・Spider Measure（間引き測定） ・GridMaker（複数ワーク一括測定） ■解析 ・DyvoceAnalyzer（解析ソフトウェア） ・SORI・BOW（SEMI Stndard） ・レポート作成 ■解析（オプション） ・マッピング補正 ・自重たわみ補正 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ナノレベルの高精度位置決め、画像処理アライメント、半導体検査、光デバイス組立、車載カメラ生産に必要とされるあらゆる位置決めのソリューションを取り揃えております。