1nm分解能で位置決めステージを制御!
1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。
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基本情報
型式:FC-911 接続対象ステージ:FS-10□0UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ、 ステージ制御軸数:2 最小指令単位:1nm インポジション範囲:±1nm(±3nm、±7nm 選択可) 最大動作速度設定値:6mm/s(接続ステージの性能が優先) 制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド) 電源:AC100V~240V
価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
用途/実績例
最先端の研究(X線を利用した研究)等
カタログ(5)
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シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。