同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰返しの衝撃。マスクやガラス洗浄ウェハ研磨後スラリー除去に。
使用する水の量が少なく水膜のできにくい 既存装置にも後付可能な洗浄ノズルユニット 最大30Hzで駆動する洗浄ノズル 5〜10MPaの高圧水を発生させるポンプ コントロールユニットの組合せ 従来の連続スプレーは、自ら作った水膜の上からスプレーで圧力を加えており、洗浄力を上げる＝圧力を上げる＝流量が増え水膜も厚くなる、という傾向がありますが、DP－Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。 断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。 ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく安定した水圧コントロールを実現しています。 ※液体の一定量をスプレーする 測量＋スプレー塗布についてもご相談ください ※ノズル、ポンプは定期的なメンテナンスが必要となります。
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基本情報
【参考仕様】 ■DP-Gun 1台 ・ 本体 ・ ノズルチップ 標準洗浄幅 約110mm または 約65mm ※1 ■ポンプユニット 1式 ・ ポンプ ※1 ・ コントロールユニット（DP-Gun用ドライバー2台分内蔵） ・ 操作パネル ・ 外部制御対応（スタート・ストップ・アラーム出力等） ■設定項目 １ 圧力 (供給圧力 2～10MPa) ２ 周波数 (スプレー回数 5～30Hz） ３ パルス幅 (スプレー開時間 5～15ms） ※1 ノズルチップの形状・ポンプ容量 は 洗浄の目的 必要流量・DP-Gunの設置数量により別途ご相談となります ■その他 DP-Gun取り付けステー、洗浄槽・移動ステージ、 スピン・エアーナイフによる乾燥、 他洗浄方法（超音波・薬液等）と合わせての装置化 等 ご要望に応じてご提案させて頂きます。 ※ 写真はDP-Gunの複数台使用時の連結イメージと 弊社デモ機（取付ステー・簡易洗浄槽付き）
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種マスク洗浄 ・ ローラー搬送装置としての使用 ・ 単体での使用（ハンドガン方式） ■チップトレー洗浄 ・ 高圧パルスジェット → US洗浄 → オーブン乾燥 ■種ガラス用ローラー搬送による洗浄装置化 ・ ブラシ → 高圧パルスジェット → リンス → エアーナイフ乾燥 ■ウェハー用カセット、キャリア、キャリアカセット、チップトレー等の立体物の洗浄 ・ 多関節ロボットと組み合わせての内外面を洗浄（手作業を自動化） ■既存ラインの洗浄力強化 ・ 既存の洗浄装置の洗浄槽の一部へ追加 ・ 既存の洗浄装置の2流体スプレーと入替え
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企業情報
株式会社テクニカルフィットでは、お客様のご要望・ご予算に合わせ、各種洗浄装置、粒子・スペーサーの散布・分散装置、静電気除去装置、検査装置をご提案いたします。液晶・半導体・自動車・食品・医療関係など業種を問わず、ご相談ください。
