10nm分解能で位置決め！再現性に優れ、20～200mmストロークのステージ
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク 最大200mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。 ■可動タイプ 直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
■ステージ 最小分解能：10nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～200mm 最大移動速度：20mm/sec（ストロークや可動タイプにより異なります） ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：10nm 最大動作速度設定値：50mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
価格帯
納期
用途／実績例
微細な位置決めを必要とする様々な分野。 検査装置及び露光装置 レーザー加工装置への応用 光学系の調整 バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど
ラインアップ（10）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FS-1020PX | 10nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、20mmストロークのステージ |
| FS-1040PX | 10nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、40mmストロークのステージ |
| FS-1050PX | 10nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、50mmストロークのステージ |
| FS-1100PX | 10nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、100mmストロークのステージ |
| FS-3150PX | 10nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、150mmストロークのステージ |
| FS-1005PZ | 10nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、5mmストロークの昇降タイプステージ |
| FS-1010PZ | 10nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、10mmストロークの昇降タイプステージ |
| FC-511 | 10nm分解能ステージ用のコントローラ |
| FS-3200PX | 10nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、200mmストロークのステージ |
| FC-514 | 10nm分解能ステージ用コントローラ、スローダウンセンサと原点センサの入力に対応 |
カタログ（5）
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。
