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X-LRMシリーズ

最終更新日:2016年11月18日

テクノロジーリンク株式会社
テクノロジーリンク株式会社
  • 公式サイト

コンパクト・低床・高剛性・高精度リニアステージ

・ストローク長は25~200mm ・焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性 ・ロータリーエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-E)では、モータエンコーダ位置フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き ・リニアエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-DE)では、50 nmの分解能リニアエンコーダにより、スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き ・200mmストロークに対し、位置決め精度15μm以内(リニアエンコーダ内臓タイプ) ・耐荷重50kgの高剛性ステージ ・コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能

    基板搬送装置(ローダ・アンローダ)搬送・ハンドリングロボットその他組立機械
group_x-lrm-e.jpg

X-LRMシリーズ精密電動ステージ

group_x-lrm-e.jpg
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基本情報

ストローク長:25, 50, 100, 250, 200mm 初期値分解能:0.047625 µm 位置決め精度:8 µm 最高速度:25 mm/s 最低速度:0.000029 mm/s 速度分解能:0.000029 mm/s 最大推力:50 N 最大連続推力:25 N 通信インターフェース:RS-232 通信プロトコール:Zaber ASCII (初期値), Zaber Binary 最大中心荷重:500 N 最大片持ち荷重:1500 N-cm 最大電流消費:350mA 電源:24-48VDC モータ 1 回転での移動距離:0.6096mm モータ 1 回転ステップ数:200 モータタイプ:2 相ステッパーモータ インダクタンス:3.5 mH/相 機械的駆動方式:精密級リードスクリュー リミット又はホーム検出:磁気式ホールセンサー 操作温度範囲:0~50℃ ステージ平行度:< 10µm RoHS準拠 CEマーキング準拠 ピッチ剛性:750 N-m/deg ロール剛性:550 N-m/deg ヨー剛性:400 N-m/deg

価格帯

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納期

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※3週間以内

用途/実績例

XY キャリブレーション テーブル 赤外線センサー検査 温度測定センサー位置決め レーザー三角測量調整 機内測定用質量分析計 光学式検査装置 CCD や光電子増倍管の位置

ラインアップ(3)

型番 概要
X-LRM
X-LRM-E ロータリエンコーダ内臓タイプ スリップ/ストール検出機能
X-LRM-DE リニアエンコーダ内臓タイプ フルクローズドループ制御

企業情報

テクノロジーリンク株式会社

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テクノロジーリンクは、世界最先端の理化学機器を提供しユーザーの研究、産業分野における問題解決とその成功を高度な技術力にて支援するハイテク技術商社です。 主に大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品をはじめとした、ハイエンドな機器の販売を行っており、長年の豊富な実績・経験ならびに知名度・信頼性の高い商社として確固たる地位を築くにいたっております。

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