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最終更新日:2016年11月28日

有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
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単4電池よりも小さい超小型のマイクロリニアアクチュエータ!

当製品は、真空(1×10-4 Pa程度)対応、低放出ガス仕様のマイクロリニア アクチュエータです。 ステッピングモータ駆動でパルスによる簡単な位置決めをしてくれ、サイズ もボールペンや単4電池よりも小さい超小型です。 また、当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【用途】 ■手動操作からの置き換えに  ・空間の制約で電動化出来なかった場所  ・アクセスしにくいが、調整が必要な場所 ■新たな小型アプリケーションの駆動に  ・仕様をいただき当社で製作することも可能 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    真空機器
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マイクロリニアアクチュエータ『MLA5C』

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基本情報

【主要仕様】 ■胴体サイズ:Φ8×L35[mm] ■シャフトサイズ:Φ2.8×L2.5~7.5[mm] ■移動量:5[mm] ■推力:5[N] ■速度:4[mm/sec]Max. ■理論分解能:2.5[μm] ■位置決め精度:20[μm] ■繰り返し位置決め精度:±5[μm] ■駆動:バイポーラ式 2相ステッピングモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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