局所的なエッチング領域を形成！走査することによる高精度形状創成
『MS-3030LWE』は、局所的な液相エッチング領域を速度制御走査する ことにより任意な形状創成を行うことができる数値制御ローカルウェット エッチング装置です。 非接触な化学的無歪加工法なので、振動などの外乱に対して鈍感。 加工量は、エッチャントの滞在時間及と温度によってナノメータオーダーの 加工精度で正確に制御でき、任意形状を創成できます。 【特長】 ■非接触加工 ■化学的無歪加工 ■ナノメータオーダーの加工精度 ■5軸NC制御により任意形状創成 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【主な仕様】 ■装置構成 ・装置本体(クリーンルーム対応) ・操作パネル部(クリーンルーム対応) ■加工対象物：合成石英・Si・SOLウェハ・水晶ウェハ ■主制御部：5軸NC制御 ■テーブルスクロール ・X軸：350mm ・Y軸：350mm ・Z軸：100mm ・a軸：±25° ・b軸：12rpm(max) など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、メカトロニクスの最新技術を駆使し、品質の継続的改善に努めることにより、顧客の要求・信頼に応える。又、地球環境と地域社会に調和し、持続可能な事業活動を推進するため、継続的な環境保全活動に取り組む。
