半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適！
『SHR3000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適。また、被搬送物、 装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mmから選択可能 ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能 ■動作モニター装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。
