既存の真空チャンバー、真空部品をチタン合金製に変えてみませんか？
チタン合金を真空チャンバーや真空部品の材料に用いることにより、非常にガス放出の小さい真空システムを可能にする技術を開発いたしました。これにより素早く、簡単に超高真空/極高真空を得ることが可能になりました。 チタンはもともと真空への応用に適した素材です。軽量、完全非磁性、低熱膨張率、低熱容量、などなど多くの利点を有しています。我々の技術は、この本来優れたチタン材に、さらに真空応用にとって重要な特性を付け加えました。 表面処理技術の開発により、ガス放出をステンレスに比べ2桁ないし3桁減少させることができました。これにより、非常に高速に超高真空への排気が可能です。 特殊なチタン合金の開発により、ステンレスに比較して強度、硬度ともに高く、超高真空に不可欠なCFフランジが可能になりました。 製造技術の開発により、従来困難であったチタンの溶接やロー付けが信頼性良く可能となりました。これにより、様々な複雑形状の真空チャンバーや真空部品の製造が可能になりました。
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基本情報
■弊社チタンチャンバーはステンレスの1/100から1/1000の低いガス放出特性を有しています。 ■超高真空への排気が簡単に素早く行えます。10-8EPaの超高真空へわずか10時間で到達します。ベーキングも150℃、6時間で十分です。 ■チタンの密度はステンレスの約半分です。真空システムの重量の大幅低減が可能です。 ■新開発のチタン合金は、純チタンにはない強度を有し、ステンレスに比べて1.7倍の強度を持っています。これによりCFフランジの厚さが約30％薄くなり（比重が軽いので）、ステンレスの半分以下の重量となります。 さらに、このチタン合金は純チタンでは不可能であったステンレス以上の高い硬度を有しますので、CFフランジのナイフエッジの加工が可能です。 ■熱膨張係数がステンレスの1/2、アルミの1/3であり、温度変化による狂いを嫌う精密な機械部品への応用に適しています。 ■同一の体積で比較すると熱容量がステンレスの約半分と小さいので、ベーキング開始より短時間で温度が上がり、また冷却も早いのでベーキングの時間短縮、効率化が可能です。 ■完全に非磁性なので分析装置や強磁場内での用途に向いています。
価格帯
納期
用途／実績例
真空装置、分析装置等
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企業情報
VISTA株式会社は、真空技術、真空市場に長年の経験を有するスタッフにより、極、超高真空に対応した真空計、真空ポンプ等の開発、製造、販売、コンサルティング、技術受託を行う真空技術の専門会社です。市販の真空製品に飽き足らない方は是非ご相談ください。
