既存の顕微鏡へ取付けて、微小レーザーマーキングや微小なレーザー加工ができます。
・既存顕微鏡へ取付可能。 ・あらゆる素材にマーキング。波長依存が少。 ・最小レーザースポット約0.3um。 ・透明体内部や、透明体を透過し下部の素材にマーキングも可能。 ・SEM、AFM、FIBの前処理としてターゲットマーキング。 自動ステージと専用ソフトウエアを組み合わせて、矩形や文字をマーキングすることも可能です。 また、KLAなどの欠陥検査装置の欠陥マップをレビューしながらマーキングも可能です。
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基本情報
・回折限界に近似の微小スポットが得られます。 （100X対物使用時で0.3μm以下） ・接眼から目視観察しながらレーザーの照射が可能です。 ・試料の深さ方向に選択的な切除が可能です。 ・ファイバー接続方式のため、設置・移動が簡単におこなえます。 ・ダイレーザー採用、目的により波長を変えることが出来ます。 （選択可能範囲 365nm～900nm） ・パルスエネルギー 50μJ以上、パルス幅 2-6 nsec. ・ビームのアライメント、パワーの調節が容易に行えます。
価格情報
標準組合せは500万円から600万円 取付け顕微鏡や目的により変動します。お気軽にお問い合わせください。
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
※受注後約2ヶ月（状況により即納可）
用途／実績例
・シリコンウエハ上の微小欠陥やパーティクル周辺にマーキング。 ・SiC（シリコンカーバイト）を裏面観察しながら、内部にマーキング ・ガラス下のアルミパターンにマーキング ・FIB切断の目印としてマーキング ・樹脂レンズ内の異物周辺にマーキング ・ボンディングワイヤの切断 ・Cuパターンの切断 ・ITO膜の剥離 ・ガラス上の金蒸着膜の剥離 その他、ございます。
詳細情報
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マイクロポイント 各種ウエハ、ガラス、樹脂などあらゆる素材へマーキングできます。
企業情報
海外の優良な光学機器や検査装置を輸入販売しています。 また、御客様の要望に合わせてオーダーメイドなシステムの構築も致します。 お気軽にご相談ください。