オートローダによる完全自動計測！ウェーハ表層欠陥検査装置
『MO-601HS』は、ウェーハ全面の計測を可能とし、Siウェーハのデバイス 活性層である表層近傍の結晶欠陥を表面上の異物及び表面の荒さ、傷と識別 して検査できるウェーハ表層欠陥検査装置です。 ビュアー機能による欠陥の実画像による確認、並びにレーザマーキング機能 によるTEM観察での欠陥解析が可能。 酸化膜の耐圧と信頼性を非破壊で評価する方法として、アニールウェーハ などの品質維持に活用されています。 【特長】 ■オートローダによる完全自動計測 ■200mm,300mmウェーハ対応 ■高感度：200nmΦの欠陥を検出可能 ■欠陥・異物・ヘイズの全面マップ計測機能 ■計測条件を一定としたラスタースキャン方式 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【その他の特長】 ■欠陥分布マップ表示機能 ■フォトルミネッセンス(PL)測定機能 ■ドープ量均一性チェック ■ウェーハ汚染状態の検証 ■レーザマーキング機能（オプション） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社オプティマは、半導体ウェーハ検査装置・測定装置の販売を行っている会社です。主に半導体検査装置・産業機械・中古装置・マクロ検査、製造装置・研磨装置・洗浄装置などを取り扱っております。お客様のご要望にお答えいたしますので、お気軽にお問い合わせください。
