封止された装置内の真空環境を整え、長期に渡る信頼性の保持に貢献します
追加サービスとして、以下のことが可能です。 ○ 超音波顕微鏡での接合ライン統合テスト ○ RGAテスト（残留ガス分析） ○ アウトガステスト ○ リークレート測定テスト 【特徴】 ○ 真空ディスクリートパッケージング ○ ゲッターとの統合 ○ ファストプロトタイピング ○ 要求に特化した工程開発 ○ ファウンドリサービス
この製品へのお問い合わせ
基本情報
ハーメチックシールされたデバイス内の真空状態を厳格に管理することは、長期間に渡る安定性を保つための重要な要素の一つとなっています。 安定したオペレーションに貢献するゲッター材料を使うことに加え、シール環境の厳密なコントロールが、目標とする真空状態を達成する上で必須となります。 MEMSのパッケージングやその密閉装置に関する長年の経験を活かし、 サエスは現在、真空ディスクリートパッケージのサービスを提案し、 お客様に完全なソリューションを提供しています。 パッケージ内に適切なゲッター（ポーラス、厚膜、薄膜等）と塗布型ドライヤーを統合し、そして適切な活性条件を確保することが、速くて信頼性の高い真空パッケージのソリューションを得るための重要な要素となっています。 サエスのパッケージング施設は、迅速な試作品作り、工程開発やファウンドリサービスのためクリーンルーム環境が整備されており、セラミックと金属パッケージ双方向けの最先端の封止装置を備えています。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ● イナーシャセンサー（加速度計とジャイロ） ● マイクロボロメーター ● 共振器 ● 時間周波数装置 ● プレッシャーセンサー ● 光学機器
企業情報
ゲッター技術の世界的パイオニア「サエス・ゲッターズ・グループ」は、1940年代の創業以来、高・超高真空環境や純金属の蒸着など様々な用途に対応するソリューション（ガス/水分吸着剤、水銀/アルカリ金属蒸着源など）を提供してまいりました。 また研究開発にも積極的に投資し、2004年以降はニチノール市場にも事業を展開しております。ニチノールの超弾性の特性は医療用機器に応用され、形状記憶の特性は産業および家庭用電化製品に応用されています。