各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基(親水、親油、密着性向上。など)を化学的結合により付与することが出来ます。
「PC-RIEシリーズ」は、各種基板/フィルム等に対して、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○官能基修飾処理 ○リアクティブイオンエッチング(RIE) その他詳細は、PDFをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。
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基本情報
本社に評価試験用RIE装置を完備、随時プロセス評価実験をお受けいたします。 技術紹介プレゼン,プラズマ応用相談も行っております。 詳しくは弊社営業部までお気軽にお問合せください。 【応用例】 ○難めっき樹脂へのダイレクト銅めっきを実現 ○樹脂と金属の接着剤レス接合を実現 ○接着剤との接着強度向上 ○レーザー加工後のスミア除去(デスミア処理) ○フッ素系樹脂の親水化,接着性向上 ○半田,ボンデイングなどの密着性を向上 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。
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用途/実績例
【用途】 ○難めっき樹脂へのダイレクト銅めっきを実現 ○樹脂と金属の接着剤レス接合を実現 ○接着剤との接着強度向上 ○レーザー加工後のスミア除去(デスミア処理) ○フッ素系樹脂の親水化,接着性向上 ○半田,ボンデイングなどの密着性を向上 ●詳しくはお問い合わせください。
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プラズマ・真空関連装置を中心に、洗浄装置、マテハン他、多分野において、多種多様なニーズに対応します。自社製品以外でも、OEM等、装置製造受託もフレキシブルに対応します。 プラズマ処理については、電子、医療他の多分野において、他企業や大学との共同研究開発を実施。受託処理のみも受付中。 設計等メーカーポジションを活かし、工場内の設備保守委託や装置メーカー様からの保守メンテナンス委託、既存設備の移設、中古設備リファブまで、自他社製問わず各種装置の保守メンテナンスをお請けします。