3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化！シンプル構造！
『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動 アクチュエータ“ミリオンアクチュエータ”を採用することで高精度送りを 実現した製品です。 テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。 高剛性と低振動の両立を実現しました。 【特長】 ■高精度 ■高剛性 ■超薄型・シンプル構造 ・テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■型式：MSX230 ■駆動方式：ミリオンアクチュエータ GMA2815M ×3 ■ストローク ・X軸、Y軸：±7.5mm ・θ軸：±7° ■テーブルサイズ：230×230mm ■ベースサイズ：310×310mm ■高さ：80mm ■定格速度：10mm/sec ■最高速度：50mm/sec ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造・検査装置 ■液晶パネル製造・検査装置 ■スクリーン印刷機 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
アイセルグループの原点は、1968年の創業以来、自動車や液晶、半導体など 多岐に渡る分野の産業設備や産業設備用部品の製造・販売に携わっているアイセル株式会社にあります。 アイセルグループは2010年以降、次第にグループ企業を増やしていき 現在、グループ会社を含め国内に11拠点・国外6拠点で構成されています。