PBNセラミックスとグラファイトのコンビネーションによる蒸着源。アルミ蒸着などの真空蒸着に好適。
『PBN』は高い電気抵抗と優れた熱伝導性を合わせ持つ異方性の高温セラミックスです。 毒性がなく、非多孔性のPBNは熱CVDプロセスで製造されており、非常に純度の高いものとなっています。メタライズプロセスの蒸着源として使用されています。 【特徴】 ●高純度で長寿命 ●非常に少ないアウトガス ●既存セラミックス製エバポレーターとの置き換えが容易 ●アルミニュウム蒸着膜の品質と厚みの安定化 ●経時変化による電気抵抗値の変化がない ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
