卓上設置が可能な基板乾燥機
遠心力を利用し、シリコンウェハなど基板状ワークの乾燥処理をおこないます。卓上に設置可能であり、すべての機種の電源はコンセント供給となりますので、設置にともなう追加の電気工事は必要ありません。20mm角基板から6インチウェハまで、各サイズのラインナップを取り揃えております。
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基本情報
○テーブル材質：フッ素樹脂（PTFE) ○対応サイズ：20ｍｍ角基板／φ3インチ／φ4インチ／φ6インチ ○最大回転数：3500prm ※機種により異なります。 ○入力電源：AC100V（50/60Hz）
価格帯
納期
用途／実績例
Siまたはガラス基板の乾燥
ラインアップ（7）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| SD-20S | ●20ミリ角基板対応 ●最大回転数3500rpm ●手動調整による無段階制御 ●外形寸法（W160/D180/H150） |
| SD-20SE | ●20ミリ角基板対応 ●最大回転数4000rpm（31段階）●停止タイマー（最大60分）●外形寸法（W170/D180/H160） |
| SD-20SR | ●20ミリ角基板対応 ●最大回転数4000rpm（8段階）●停止タイマー（12段階）●外形寸法（W170/D180/H160） |
| SD-300 | ●φ3インチ対応 ●最大回転数3000rpm ●停止タイマー ●開閉停止機能 ●レシピ記録（5種）● 2か国語対応（日本語/英語）●外形寸法（W380/D380/H435） |
| SD-300CS | ◎コントローラ分離型●φ3インチ対応 ●最大回転数3000rpm ●停止タイマー ●開閉停止機能 ●レシピ記録（5種）●外形寸法（本体：W380/D400/H430） |
| SD-400 | ●φ4インチ対応 ●最大回転数3000rpm ●停止タイマー ●開閉停止機能 ●レシピ記録（5種）●外形寸法（本体：W430/D430/H430） |
| SD-600 | ●φ6インチ対応 ●最大回転数1500rpm ●停止タイマー ●開閉停止機能 ●レシピ記録（5種）●カバーロック機能●外形寸法（本体：W695/D600/H542） |
企業情報
株式会社テクノファインでは、真空成膜プロセス装置をはじめとする半導体製造装置、プラズマ対応基板ステージ、分析装置など、お客さまのニーズに応じた装置の仕様提案、設計、製造をおこなっております。