フルオートメーション化可能！充実したマッピングができる装置
『PLマッピング装置』は、LED/LD生産のための2,3,4インチウェハ のフォトルミネッセンスおよび膜厚マッピング測定を行う装置です。 自動XYステージ、オリジナルの多機能測定ソフトウェアにより 充実したマッピングが行えます。 また、ウェハ自動供給・収納機構の接続によりフルオートメーション化 が可能です。 【特長】 ■2,3,4インチウェハの測定が可能 ■オプションにより1/4切断ウェハの測定も可能 ■充実したマッピング ■フルオートメーション化可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【本体仕様】 ■型式：YWafer Mapper GS4 ■測定ウェハサイズ：2,3,4インチウェハ（オプションとして1/4切断対応可能） ■測定ウェハ搬送：マニュアル搬送（標準）、自動搬送（オプション） ■マッピング間隔：0.5mm～（0.1mm精度） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ユアサエレクトロニクスは、オプトエレクトロニクス技術を支える 半導体レーザやLEDなどの光デバイス・コンポーネンツの開発・生産を支える システムを最新のテクノロジーをもって提供しています。 これからも新しい時代をリードするために現状に甘んずることなく常に変革に チャレンジし、当社の柱である光デバイススクリーニングシステムの研究開発 はもとより、国内外の優秀なベンチャー企業の育成に力を注ぎ、高品質、 高信頼性、高付加価値のシステムを開発して参ります。
