1週間以上高い分散性をキープ！高い粘性をもったシリコンウェーハ用の分散剤
『VECTOR HTS-3』は、シリコンウェーハのラップ用に開発された分散剤です。 高い生物分解性と粘性をもち、アルミナと純水を混合することにより 適度の粘性のラッピングスラリーが得られます。 物理的・化学的特性の変化が無く、1週間以上の高い分散性が 保持されます。 【特長】 ■ラッピングスラリー用 ■高い生物分解性 ■高い粘性 ■物理的・化学的特性の変化なし ■ウェーハ平坦性 ■ウェーハダメージ低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【その他の特長】 ■高ラップレート ■スクラッチ低減 ■後洗浄性の向上 ■高いラップ再現性ウェーハ残滓低減 ■研磨材の削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
北川グレステック株式会社は、システム精工(株)とケメット・ジャパン(株)の２社が合併して誕生いたしました。 システム精工がHDD研磨装置で培った技術と、 ケメット・ジャパンが半導体や電子部品の研磨消耗品・受託加工で培ったノウハウを組み合わせ、 営業力・開発力を強化し、より一層の事業拡大を図ってまいります。