表面張力を抑え、ウェーハ上の残滓を低減するリンス剤！防錆効果も発揮
『VECTOR HTR』は、ラッピングプレート･ウェーハ上の残滓除去に使用され 防錆効果も有します。 ラップ盤とウェーハ間の表面張力を抑え、ウェーハ上の残滓を低減。 ポリッシング応用では、パッドとウェハのリンスに効果を発揮します。 【特長】 ■ウェハ洗浄･取り扱い時使用 ■ラップ盤･パッドのメンテナンス･洗浄の低減 ■ステイニングの低減 ■プレートのコンタミネーションによるウェーハの割れ･スクラッチの低減 ■ラッピング時のウェーハ割れ低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
北川グレステック株式会社は、システム精工(株)とケメット・ジャパン(株)の２社が合併して誕生いたしました。 システム精工がHDD研磨装置で培った技術と、 ケメット・ジャパンが半導体や電子部品の研磨消耗品・受託加工で培ったノウハウを組み合わせ、 営業力・開発力を強化し、より一層の事業拡大を図ってまいります。