3種類のナノインプリント機能搭載！温度や圧力の条件を自由に設定可能です
明昌機工の『NM-0501』は、半導体集積回路線幅のナノレベルを、 簡易かつ低コストで上げる為に開発された、ナノインプリント装置です。 熱インプリント、室温インプリント、光インプリントの 3種類のナノインプリント機能を搭載しています。 インプリントに欠かせない温度、圧力の条件を自由に設定可能。 ステップ&リピートによる4回連続転写が可能です。 【特長】 ■フレキシブル条件設定 ■ステップ&リピート機能搭載 ■3種類のナノインプリント機能 ・熱インプリント ・室温インプリント ・光インプリント（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■装置構成 ・装置本体（クリーンルーム対応） ・冷却水循環装置 ■基板サイズ ・モールド：φ2インチ以下 ・試料基板：φ4インチ以下 ■基板温度調整範囲：20～300℃ ■ステップ&リピート：X.Y方向±15mm ■加圧調整範囲：0～19kN ■外径寸法： ・装置本体：1035W×915D×1903H ・冷却水循環装置：340W×394D×851H ■重量： ・装置本体：約850kg ・冷却水循環装置：約40kg ■電源： ・AC200V 50A ・50/60Hz ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、メカトロニクスの最新技術を駆使し、品質の継続的改善に努めることにより、顧客の要求・信頼に応える。又、地球環境と地域社会に調和し、持続可能な事業活動を推進するため、継続的な環境保全活動に取り組む。
