短時間での昇温を実現するステンレス製・石英ガラス製の汎用バス！
『プロセスバス』は、SC-1、SC-2、剝離槽などに適した汎用バスです。 ハイスペックなヒーターを用い、短時間での昇温を実現。 また、装置内への追加インストールなども「プロセスバス・コントローラー ユニット」の導入により可能です。 【特長】 ■短時間での昇温を実現 ■ご希望のサイズ・仕様にて設計・製作 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【関連製品】 ■プロセスバス・コントローラー・ユニット ・プロセスバス単独制御用のコントローラー ・高性能温度調節システムを搭載 ・精密な温度補正を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
有限会社クリーンワークスでは、半導体製造装置のウエハー及び各種冶具の 『洗浄装置』『剥離装置』『エッチング装置』『薬液供給/回収装置』などの ウエットプロセス装置を数多く設計・製作しております。 当社製品はお客様のご要望・プロセスに併せた、装置の設計・製作を 得意とし、経験豊富なスタッフが企画から設計・製作、メンテナンスまでを 一貫して対応いたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
