半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
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基本情報
サイズ: DN10-100mm(⅜“ – 4“) アクチュエータ: 圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル: HV, UHV
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用途／実績例
主な用途は半導体製造装置の表面分析/真空遮断。
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。
