フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用
-水冷部と真空部との間に溶接部やロー付け部なし -工業用 -UHV対応
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基本情報
サイズ: DN 63-160mm (2 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F
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用途／実績例
フォトンストッパー/加速器に使用
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 79036-CE24/CE44 | ※CE24は電磁弁なし/CE44は電磁弁付き どちらもリミットスイッチ 80℃ |
| 79040-CE24/CE44 | ※CE24は電磁弁なし/CE44は電磁弁付き どちらもリミットスイッチ 80℃ |
| 79044-CE24/CE44 | ※CE24は電磁弁なし/CE44は電磁弁付き どちらもリミットスイッチ 80℃ |
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。