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ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0

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01032-UE44

最終更新日:2018年03月20日

VAT株式会社
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UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

-潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール

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ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0

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基本情報

サイズ: DN 16 – 50 mm (⅝“ – 2“) アクチュエータ: 手動式 回転ハンドル付き 圧空作動式 単動シリンダー スプリングによる閉動作(NC) 単動シリンダー スプリングによる開動作(NO) 複動シリンダーによる開閉動作 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F シーリング技術: MONOVAT

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用途/実績例

UHVなどの高度なアプリケーション

ラインアップ(9)

型番 概要
01028-KE01 手動式-回転ハンドル
01032-KE01/CE01/UE01 手動式-回転ハンドル ※KE01はISO-KF/CE01はCF-F metric/UE01はCF-F UNF
01034-KE01 手動式-回転ハンドル
01028-KE11 圧空作動式-単動シリンダー・スプリング閉(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし
01032-KE11/CE11/UE11 圧空作動式-単動シリンダー・スプリング閉(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし ※KE11はISO-KF/CE11はCF-F metric/UE11はCF-F UNF
01034-KE11 圧空作動式-単動シリンダー・スプリング閉(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし
01028-KE14 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし
01032-KE14/CE14/UE14 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし ※KE14はISO-KF/CE14はCF-F metric/UE14はCF-F UNF
01034-KE14 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし

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半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。

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