使いやすくパワフルなリソグラフィ・シミュレーション・ソフトウェア
『HyperLith(TM)』は、スカラ計算と厳密解、 EUVおよびDUVテクノロジーに対応したソフトウェアです。 LiveView GUIで概略のシミュレーション結果を予測。 また、GDSエクスポートの新機能により、プログラムした一連の パターンをGDSファイルにエクスポートできるようになったので テストマスクの作成に役立てることができます。 【特長】 ■Polarization、Aberrations、Resistをサポ―ト ■ハードウェア加速処理機能、並列処理機能、分散処理計算機能のサポート ■WindowsとLinuxをサポート ■.simファイルとしてEM-Suiteへexport ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【HyperLith(TM)にウエハー上での図形入力機能】 ■ダブルパターニングシミュレーションに適する ■液浸バブル、リフレクティブノッチング、非平面レジスト表面、下地の構造 ■レジスト内のイメージのトポグラフィーをTEMPESTpr2厳密解での計算 ■ハードウェアアクセラレータと並列処理 ■強力な3D構造編集機能でウエハー上の構造を作成、観察 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社インターソフトは、ソフトウェア販売を行っており、先端技術を リードするシミュレーションソフトウェアを駆使することで、コスト、時間の 無駄を省き、高パフォーマンス、ローコストの製品開発を短時間で実現させます。 当社は皆様のご要望に、性能、価格、サポート面で100％お答えできる シミュレーションソフトウェアのご提供を目指しています。
