研磨性スラリーのハンドリングに最適なバルブをご提案
スラリーのハンドリングは,主に3ステップに分けられます。 ・調整と混合 ・供給と輸送 ・除去と回収 GEMÜ製品は抵抗の少ないシート形状で,バルブと流体の双方に負荷をかけない設計となっています。 接液部の材質はすべてPTFEまたはPFAとし,十分な耐薬品性を備えるとともに,砥粒を含むスラリーの研磨性に対しても高い耐久性を持ちます。
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基本情報
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価格帯
納期
用途／実績例
【実績例】 ・シリコンインゴットからウェハーへのスライシング ・化学機械研磨(CMP) ・ウェハー素子形成（素子間分離層/トランジスタ）
詳細情報
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C60シリーズ PFA/PP製ダイアフラムバルブ。 流路での乱流を抑え,高い安定性と流量を誇ります。
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バルブマニフォールド 個別のアプリケーションに合わせて,自由にレイアウトや設計ができます。 配管の省スペース化や,接続箇所の低減で漏れのリスクを減らします。
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HydraLineシリーズ PFA製のハイピュリティー圧力計。 スラリーでも安定した測定が可能です。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| GEMÜ C60 | PFA/PPダイアフラムバルブ |
| GEMÜ C67 | PFA/PPダイアフラムバルブ |
カタログ（1）
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この製品に関するニュース（3）
企業情報
GEMÜ（GEMU）は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5％以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所（IMWF）よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。