室温での操作で優れた性能を発揮！液体源から不活性ガスを精製するのに効果的！
『THE ELIMINATOR CAG』は、精製器と微粒子フィルターの技術を 組み合わせたNuPure社製のインライン型ガス精製器です。 特許取得済みのCAG（Catalyst/Absorber/Getter）精製技術を採用しており、 精製性能が大幅に改善されています。 この結果、アウトレット純度0.5ppb未満レベルの精製性能を実現しています。 また室温での操作で優れた性能を発揮します。 液体源から不活性ガスを精製するのに効果的です。 【特長】 ■特許取得済みのCAG精製技術を採用 ■精製性能が大幅に改善 ■アウトレット純度0.5ppb未満レベルの精製性能を実現 ■室温での操作で優れた性能を発揮 ■液体源から不活性ガスを精製するのに効果的 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【分野】 ■APIMSゼロ点校正 ■半導体産業 ■半導体プロセス装置 ■ガスシリンダーキャビネット ■ガス分析カート ■分析業界、研究開発など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体産業、高純度ガス溶接分析器、ガス分析カート、分析産業、研究開発 ■不活性ガスパージ、ガスシリンダーキャビネット、ハイドロカーボンの除去 ■硫黄化合物の除去、ガスボトル補填工場など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社エムアイティは、クリーンルームで使用される幅広い製品群から各種計測機器の販売、さらにはエンジン開発に欠かせない実験用可視化エンジンシステムの開発･提供まで、みなさまのご要望に、高い専門性で的確、迅速にお応えします。
