室温での操作で優れた性能を発揮!液体源から不活性ガスを精製するのに効果的!
『THE ELIMINATOR CAG』は、精製器と微粒子フィルターの技術を 組み合わせたNuPure社製のインライン型ガス精製器です。 特許取得済みのCAG(Catalyst/Absorber/Getter)精製技術を採用しており、 精製性能が大幅に改善されています。 この結果、アウトレット純度0.5ppb未満レベルの精製性能を実現しています。 また室温での操作で優れた性能を発揮します。 液体源から不活性ガスを精製するのに効果的です。 【特長】 ■特許取得済みのCAG精製技術を採用 ■精製性能が大幅に改善 ■アウトレット純度0.5ppb未満レベルの精製性能を実現 ■室温での操作で優れた性能を発揮 ■液体源から不活性ガスを精製するのに効果的 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【分野】 ■APIMSゼロ点校正 ■半導体産業 ■半導体プロセス装置 ■ガスシリンダーキャビネット ■ガス分析カート ■分析業界、研究開発など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【用途】 ■半導体産業、高純度ガス溶接分析器、ガス分析カート、分析産業、研究開発 ■不活性ガスパージ、ガスシリンダーキャビネット、ハイドロカーボンの除去 ■硫黄化合物の除去、ガスボトル補填工場など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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