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最終更新日:2022年07月29日

ライボルト株式会社
ライボルト株式会社
  • 公式サイト

【新製品】ヘリウム排気速度が非常に早い測定器。ヘリウム検知後のリカバリーが早く、生産性向上に貢献。Wi-Fiで遠隔操作も可能。

- ドライポンプ搭載の軽量モデルは半導体分野でその性能を発揮 - 大容量ポンプ搭載タイプ、ポンプ分離型モジュールタイプなど、選択の幅が拡大 効率的に計測できる、新世代のリークディテクター。 ヘリウム排気速度が非常に早く、使用後にまたすぐに使えることにより、生産性向上に貢献します。 ドライポンプ搭載機種はオイル式ポンプと同様の性能ながら10kg軽量化。半導体フィールドでその威力を発揮します。 3種類の中から、ご要望に合わせて選択していただけます: (Quadro、Vario【モジュールタイプ】、Magno【大容量タイプ】) 【特長】 ■実績のある測定システムによる非常に高い正確性と信頼性 ■非常に速いヘリウム排気速度を実現 ■すべてのパラメータを保存、他のPHOENIXリークディテクターにコピー可能 ■直感的メニュー構造の革新的なタッチスクリーン ■Wi-Fiを使用しワイヤレスでの操作が可能(アプリやソフトウェアは不要) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    リーク試験装置
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ヘリウムリークディテクター『PHOENIXシリーズ』※デモ機あり

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  • 関連リンク - https://www.leybold.com/jp/ja/

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基本情報

タイプは補助ポンプを油回転式またはドライポンプから選択できるQuadro、 コンパクトなモジュラータイプのVario、大容量用のMagnoの3種類。ニーズに合ったモデルを選択できます。 新しいモデルにはULTRAモードが新たに搭載、非常に小さなリークも即座に検知できます。 【用途】 研究開発:大学、研究機関 UHVアプリケーション:宇宙シミュレーション 産業:産業用システムと機械、冶金、工業炉、電器産業 工業生産:分析機器、医療機器、食品・包装 半導体:半導体製造、フラットパネルディスプレイ など

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用途/実績例

【用途】 各製造工程や研究開発工程でのリーク検知

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ヘリウムリークディテクター『PHOENIXシリーズ』※デモ機あり

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この製品に関するニュース(1)

真空技術のグローバルリーダーのライボルト、従来製品よりも検知感度の高い新型ヘリウムリークディテクターを発売

  • 製品ニュース

PHOENIX L300の発売から15年、ライボルトは従来のPHOENIX L300iよりもさらにヘリウムの排気速度と検知感度が向上した新型のPHOENIX 4シリーズを2018年2月28日(水)より発売します。 - 3種類のモデルから最適なリークディテクターの選択が可能 PHOENIX Vario: バックポンプが選択できるモジュールタイプ PHOENIX Quadro:現行のL300iの後継機種 PHOENIX Magno: 大容量の検知に適したタイプ Quadro、Magnoのバックポンプは油回転式ポンプまたはドライポンプから選択可能 - 見やすい表示、直感的なメニュー構造のカラータッチパネルディスプレイを採用、メニューから簡単に 操作をナビゲーション - 新型のリークディテクター用に設計された最新のターボポンプ TURBOVAC 90i LDを搭載し、より高いヘリウム感度と排気速度を実現 - 3種類の計測モードに対応 GROSSモード(15~2mbar) FINEモード(2~0.4mbar) ULTRAモード(0.4mbar未満)

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ライボルトは真空ポンプや真空計、リークディテクターなど、真空コンポーネントのパイオニアです。1850年以来の真空技術の経験を活かし、世界的なセールスおよびサービスネットワークによってサポートされた、幅広いプロセスとアプリケーションのノウハウをお客様に提供しています。 2016年、ライボルトはアトラスコプコグループに加わりました。以来、「Pioneering products. Passionately applied」というブランド目標を掲げ、真空技術におけるイノベーションを提供し続けています。

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