低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重極残留ガス分析計での計測が難しいXHVガス分析が可能！
『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計（質量分析計）です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。 また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。 電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。 【アプリケーション例】 ■XHV／UHVの高精度な質量分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析（質量分析） ■微量ガス分析（TDS／Out Gas） ■封止デバイス／MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（一部）】 ■質量範囲：100,200,300amu ■検出器タイプ：FC／EM ■イオン化エネルギー：70eV ■フィラメントタイプ：Y2O3-Ir デュアルフィラメント ■感度：1.0 x 10-6 A／Pa以上（100amu FC Sensor） ■最小検出速度：1.8msec ■動作温度：200℃（FC）,150℃（EM） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
私たち東京電子株式会社は、エレクトロニクスと精密機器の技術によって、精度と信頼性・耐久性を誇るさまざまな分野にわたる真空計、制御機器を開発してきました。 「真空」という命題は、IT産業をはじめエレクトロニクス、食品や医療に関わる分野、新素材の開発や生活必需品の製造にいたるまで、私たちの生活と産業のベースとなる技術です。そのために、多彩なフィールドにおける数々のクライアントの皆さまからの要求に、的確かつフレキシブルにお応えすることこそが、私たちのビジネス。 現代の、明日の、そして未来への産業と人々のより良い生活のために、「真空」という私たちの技術と製品が、青く澄んだ空のように、人々の幸せの上に広がる「真の空」となることを願いながら、私たちは今日も活動を続けています。
