液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカバー！
『連続プロセス』で工法の違うプロセスもワンストップで対応可能。 生産工程を飛躍的に向上させます！ 多様なプロセス・膜種・膜厚が可能 ■ドライ ・スパッタ ・蒸着 ・CVD ・ALD ・DLC ■ウェット ・ディップ ・スプレー ・印刷、転写 ・ダイコーター ・ディスペンサー 装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具提案、最適な成膜レシピ、成膜作製等、成膜に関する受託サービスを提供いたします。 装置販売だけでなく、成膜受託もお受けしております。 試作作成も可能です。ワークとご要望をお聞かせください。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
■100nm以下 ・ALDによる受託成膜例 【成膜スペック】 ワーク：ウェハ、金属（SUS、アルミ、銅など）、樹脂、フィルム他 サイズ：一辺100mm程度あれば形状は問いません 【適応膜】 SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、HfO₂等 ■100nm～1μ程度 ・DLCによる受託成膜例 【成膜スペック】 ワーク：導電性フィルム、構造補強、低摩擦フィルム、樹脂製品、自動車部品、金属部品、医療製品等 サイズ：一辺100mm程度あれば形状は問いません 【適応膜】 DLC膜、グラファイト膜 ■100～1000nm ・IBADによる受託成膜例 【成膜スペック】 ワークサイズ：φ100～300ｍｍ（不定形・円筒も可能） 層形成：単層膜・多層膜可能（Max.4層） パターン蒸着：メタルマスク対応（オプション） 【適応膜】 高融点金属、クロム、シリコン、アルミ、銅、SiO₂、SiN、ZnO等 その他、幅広く対応可能ですのでお気軽にお問い合わせください。
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企業情報
世界最先端の液相（ウェット）＆気相（ドライ）コーティングス技術で社会のニーズに応えます。 大学、企業と連携し多様な先端シーズの獲得を目指し、市場ニーズの的を射貫き、新市場を創出して科学の進歩と世界に貢献することです。