φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能
本装置は、φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能な装置です。またそれぞれのタンクは交換が簡易で、多くの異なるコート液を塗布及び評価することに適しています。1槽目に超音波洗浄槽を設置し、洗浄、コート、リンスなどの運転も可能としました。
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基本情報
【主仕様】 1.ストローク: 320mm 2.対象サイズ: φ250 t0.3 3.対象材質: ウエハー、金属板 4.ディップ速度: 0.1mm/secから60mm/sec 5.塗布液循環部: 無 6.塗布液温度管理: 無 7.フィルターメッシュ: 無 8.乾燥部: 無 9.乾燥温度: 無 10.ヘパユニット: 無 11.装置サイズ(概寸): W:1100×D:975×H:1410mm
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途／実績例
φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能。またそれぞれのタンクは交換が簡易で、多くの異なるコート液を塗布及び評価することに適しています。1槽目に超音波洗浄槽を設置し、洗浄、コート、リンスなどの運転も可能としました。
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企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!