半導体製造装置やLED・OLED等の洗浄装置、空気清浄装置など幅広くラインナップ
当社は、クリーンテクノロジーを中心とした 洗浄技術・清浄技術・計測技術を核とする製品を提供しております。 半導体、FPD、乾燥炉、真空、精密洗浄、その他装置まで 各種製造装置を取り扱っています。 5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置、CF用処理装置、真空乾燥装置 R to R熱処理連続乾燥炉、精密部品洗浄装置、エアーシャワー等 幅広くラインナップしています。 また、空中搬送洗浄装置や非接触搬送洗浄装置も新たに加わりました。 【各種製造装置】 ■半導体 ■FPD ■乾燥炉 ■真空 ■精密洗浄 ■その他装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【半導体装置】 ■Ф300mmカセットレス（50枚搬送） ■5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置 ■有機洗浄装置 ■Siナゲット洗浄装置 ■GaAsエッチング装置 ■マランゴニドライ洗浄装置 ■自動カセットオーブン ■ウェハ移載装置 ■石英管洗浄装置 ■石英管保管庫 ■スピンドライヤ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
株式会社ダン科学は、特にクリーンテクノロジーを中心とした洗浄技術・ 清浄技術・計測技術を核として、幅広い角度から未来を見つめ、創業以来の 開発魂を生かした新製品を作り続けています。 超洗浄装置・空気清浄装置・真空装置の製造から検査までの一貫作業を 清浄環境の中で行っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。