半導体、一般産業向け等、ご要望に合った装置をご提案致します
『スタンダードタイプ（QOシリーズ）』は、半導体製造向けの オゾン発生装置です。 オゾン発生部は石英2重管を使用。 外部オゾン濃度信号により、オゾン濃度を制御します。 ご要望の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■応答特性が迅速 ■長寿命 ■高信頼性 ※詳細についてはお気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ラインアップ】 ■QO-3004 ・オゾンガス濃度：70000ppm ・オゾンガス流量：～3Nl/min ・寸法：W750×D630×H1575 ■QO-180 ・オゾンガス濃度：70000ppm ・オゾンガス流量：12Nl/min ・寸法：W1255×D737×H1790 ※詳細についてはお気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社石森製作所では、加工品事業、プール・可動床事業、 ファインデバイス事業の3つの事業を展開しております。 今後も知識を増やし（探究）、経験を重ね（習熟）、 そして挑戦し続ける事（発展）を以って、今まで培われてきた『技術』と 『多岐にわたるネットワーク』をフルに発揮し、お客様に喜んで頂ける 『製品・サービス』をご提案・ご提供すべく精進して参ります。