加工Siウエハと超小型高効率熱交換器のことなら当社にお任せ下さい
株式会社フィルテックは、テストウエハと小型高効率熱交換器 (ヒートビームシリンダー)でお客様の技術開発を支援します。 テストウエハサービスでは、ベアSiウエハ、膜付ウエハ、パターンウエハ等を ご提供。更に、チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは 12インチウエハでも提供可能であり、世界的に評価されています。 【事業】 ■テストウエハソリューション事業 ■装置部品事業 ■コンサルティング事業 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品】 ■ブランケット膜付ウエハ ■レジストパタン付ウエハ ■TSV, CMP標準ウエハ ■エッチング開発用ウエハ ■プラズマダメージモニター ■TSV評価ウエハ ■電気特性評価ウエハ ■気体加熱器Heat Beam装置 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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当社は20年以上にわたり、先端の半導体技術を駆使したテストウエハで、お客様の技術・製品開発を継続的に支援しております。 私たちのノウハウと経験は、半導体製造の枠を超え、ガスの瞬間加熱部品『ヒートビームシリンダー』の開発へと結実しました。この技術は、半導体領域だけでなく、多岐にわたる産業分野での活用が拡大しており、その実績と効果を証明しています。 技術的なご相談や製品のご要望がございましたら、いつでもお気軽にご連絡ください。