FTIRベースのバルクプロセスガス分析用高感度アナライザ！
「MultiGas TM Purity」は、高純度バルクプロセスガス中のppbレベルの不純物を検出可能なFTIRベースのアナライザです。 高分解能のアナライザによるバルクガス中の不純物の特定に威力を発揮します。 【特長】 ■NF3、NH3、H2などのガスで、バルクガス製造の品質向上に貢献実績 ■腐食性高純度ガスにも対応する構成 ・サンプルラインとガスセルは316SS溶接タイプ ・水分や大気からの汚染物質を低減する加熱型オプティカルパスを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■寸法：444.5W×317.5H×648D ｍｍ ■重量：57kg ■所要電源：120／240VAC、6A ■スキャン時間：1～300秒 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
弊社は、半導体デバイス、FPD、OLED、太陽電池、データストレージ、コーティングなどの薄膜アプリケーション、または医療機器、エネルギー、環境モニター、バイオ医薬などの産業アプリケーションなど、成長産業における製造プロセスの最新技術を提供するグローバルリーディングカンパニーです。 世界各地のサービスセンタよりワールドワイドなサポートを行っています。