非常に低い温度係数により優れた温度安定性を実現！高精度圧力測定システム
『高精度圧力測定器』は、キャパシタンス・ダイアフラム・センサ技術と ソリッドステート・エレクトロニクスをベースにしたシステムです。 先端プロセス/計測の現場で求められる機能を搭載し、製造ライン、 計測研究所を問わず高精度計測をサポートします。 製造および研究の現場で、長年にわたり圧力測定の標準モデルとして 実績のあるMKSの高精度バラトロンには、各種圧力レンジ、精度、 オプション、付属品が用意されており、用途に適した仕様を選択可能です。 【特長】 ■非常に低い温度係数により優れた温度安定性を実現 ■同タイプのセンサ中、高精度の圧力測定を提供 ■タイプ670Bシグナルコンディショナとセンサのセットで測定 ■圧力校正の二次標準として好適 ■6桁測定を行うことにより複数センサを一台で測定可能(分解能に制限あり) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■センサ ・Type AA06A ・Type AD06A ■シグナルコンディショナ ・Type 670C ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
弊社は、半導体デバイス、FPD、OLED、太陽電池、データストレージ、コーティングなどの薄膜アプリケーション、または医療機器、エネルギー、環境モニター、バイオ医薬などの産業アプリケーションなど、成長産業における製造プロセスの最新技術を提供するグローバルリーディングカンパニーです。 世界各地のサービスセンタよりワールドワイドなサポートを行っています。