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最終更新日:2020年02月13日

日本エム・ケー・エス株式会社
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従来品より長期安定性を実現!頑丈なオールメタルパッケージで高い電気ノイズ耐性

『Series 355』は、世界最小クラスのイオンゲージと制御 エレクトロニクスを組み合わせた、コンパクト、簡単、高信頼性、 低コストの高真空アプリケーション用真空ゲージです。 6.66Pa~1.33×10-7Paの真空領域で従来のベアード・アルパートゲージより 正確で再現性の高い測定を可能にする多くの機能を搭載しています。 トランスデューサには、アナログ出力、RS485またはDeviceNet インタフェースが搭載されています。 またアナログ出力およびDeviceNetバージョンには、圧力表示デジタル ディスプレイオプションがあります。 【特長】 ■コンパクト、簡単、高信頼性、低コスト真空測定 ■真空圧測定 1.33×10-7Pa (10-9 Tor/10-9mbar) ■デュアルフィラメントにより、装置の稼働時間を延長 ■ウルトラクリーン構造によるポンプダウン時の高速応答 ■CE適合の頑丈なオールメタルパッケージで  耐RF、耐ノイズ性に優れたトランスデューサ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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真空ゲージ『Series 355』

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【その他の特長】 ■セットアップとシステム診断に役立つローカルディスプレイオプション ■RS485およびDeviceNetデジタルインタフェース対応 ■従来品よりも長期安定性を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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弊社は、半導体デバイス、FPD、OLED、太陽電池、データストレージ、コーティングなどの薄膜アプリケーション、または医療機器、エネルギー、環境モニター、バイオ医薬などの産業アプリケーションなど、成長産業における製造プロセスの最新技術を提供するグローバルリーディングカンパニーです。 世界各地のサービスセンタよりワールドワイドなサポートを行っています。

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