排出ガス組成変化を素早く検出する連続測定が可能！微量ガスモニタリング装置
『MultiGas TFS Monitor』は、19インチラック型、オンライン、 複数ガス対応、微量ガスモニタリング装置です。 高い選択性と安定測定を可能にするTunable Filter分光法技術を使用。 従来の分析手法に代わり、微量炭化水素、水分、CO、CO2、N2Oの 低コストで高性能な分析を可能にします。 さらに、恒久校正機能により高価な校正用基準ガスが不要になります。 【特長】 ■高い分析性能 ■低検出限界、高安定性、広範囲のリニアリティ ■複雑な設定、インストール作業を軽減するintegration-readyシステム ■恒久校正機能により高価な校正用基準ガスが不要 ■低COO(コストオブオーナーシップ)、インストールとメンテナンスが容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■排出ガス組成変化を素早く検出する連続測定 ■従来のFTIRのようなマルチ・アナライザ方式からの置換えで、 コストおよびインフラ要求事項を削減 【産業】 ■空気分離施設 ■バルク＆特殊ガス ■炭化水素処理 ■半導体 ■排気ガス/CEM ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【アプリケーション】 ■不純物モニター ■プロセス安全監視 ■製品品質分析 ■プロセスモニター/コントロール ■排ガスモニター/コントロール ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
弊社は、半導体デバイス、FPD、OLED、太陽電池、データストレージ、コーティングなどの薄膜アプリケーション、または医療機器、エネルギー、環境モニター、バイオ医薬などの産業アプリケーションなど、成長産業における製造プロセスの最新技術を提供するグローバルリーディングカンパニーです。 世界各地のサービスセンタよりワールドワイドなサポートを行っています。