ポンプの揺れを検知し、瞬時に自動で磁気軸受剛性を切替！
『STP-iXU457』は、超低振動性能とMB剛性性能向上の両立を達成し、コントロール ユニットの小型化を図り、コンパクトにポンプ下に搭載したコントローラ 一体型ターボ分子ポンプです。 １KHzから2KHzでの周波数帯の最大振動ピークを抑制、また、ピーク振動のみ でなくベース振動の低減を図っています。 【特長】 ■低振動(1kHz～2kHz間の振動ピークを抑制) ■磁気軸受/自動剛性切替機能 ■供給電源 DC24V ■オプション電源でAC100-200Vも利用可能 ■各種規格に対応:CEマーク、UL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【オプション品】 ■AC-DC電源 iPD240-24V ■空冷ファン仕様 ■ベントバルブ ■外付けダンパ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
エドワーズは、1919年にイギリスで創業した世界最大の真空ポンプと排ガス処理装置(除害装置)のメーカーです。 私達のミッションである、真空技術を礎とする製品群やサービスを通じて、お客様の課題解決に繋がる真空ソリューションをご提供できるよう、日々、製品開発、試験評価、アフターサービス、社員教育に努めております。 世界をカバーするネットワークと高い技術力で安定した修理能力を持つサービス工場により、どの地域のお客様であっても、安心して製品をお使いいただける体制を確保しております。