最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能！本体寸法11センチからの小型熱交換器です※デモ機貸し出しOK
『ヒートビームシリンダー』は、小型でありながら、ガスや液体等の流体を 効率よく、瞬時に高温に加熱し、最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能です。 クリーンな加熱方法なので、プロセスガスの加熱に適しています。 窒素を加熱して生成した高温N2を半導体製造装置の排気ラインに用いると 反応生成物の付着を防止できます。また水を直接加熱して過熱水蒸気発生装置と することができ、様々な用途での使用が期待されます。 【特長】 ■900℃以上の過熱水蒸気を発生するので広い分野で使用が可能 ■コンパクトなサイズだから、ユースポイントの近くで過熱水蒸気を発生できる ■水から直接 過熱水蒸気の生成も可能であり、ボイラーが不要 ■自由な配置・組み合わせができるので並列、直列、縦置、横置、装置直結も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【type SS の仕様】 ■Body size(mm)：104Ｘ55Ｘ36 ■Body weight：0.7kg ■Power：100V 200V, 100W,120W,150W,170W ■Piping(inch)：1/4 ■Gas example：N2,H2,H2O ■Gas Flow：～40L/min ■Example of temperature(℃) at a flow rate：330@10SLM, 180@20SLM ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■CVD装置排気配管洗浄 ■過熱水蒸気発生 ■CVD装置チャンバー加熱 ■廃プラスチクス溶融 ■CNTや透明導電膜低温化加熱 ■高効率燃焼 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は20年以上にわたり、先端の半導体技術を駆使したテストウエハで、お客様の技術・製品開発を継続的に支援しております。 私たちのノウハウと経験は、半導体製造の枠を超え、ガスの瞬間加熱部品『ヒートビームシリンダー』の開発へと結実しました。この技術は、半導体領域だけでなく、多岐にわたる産業分野での活用が拡大しており、その実績と効果を証明しています。 技術的なご相談や製品のご要望がございましたら、いつでもお気軽にご連絡ください。