高品質な貼付けを、低コストで実現！フルオート真空テープマウンター
本機は、ウエハを真空チャンバー内で貼付けをすることができる、 『フルオート真空テープマウンター』です。 OKK独自のプリカットユニットも標準搭載しており、 ダイシングフレームとウエハをセットするだけで高品質な貼付けを簡単・ 低ランニングコストで実現できます。 【特長】 ■非接触貼付(特許)ノンダメージ ■廃棄幅「0」(特許) ■豊富なオプション ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■対象ワーク：8 インチフレームまで ■使用テープ：[幅：300mm]×[外径：max.φ200]×[内径：φ76～77] ■到達真空度：30Pa 以下 ■貼付け精度：±1mm 以内 ■装置寸法 ：W1700 mm×D2000 mm×H1800 mm ■装置重量：2000kg ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
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企業情報
大宮工業株式会社は、精密測定機器、半導体及び液晶製造関連装置の 製造・販売及び回転機器メンテナンスを行っております。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。
