低電圧駆動で洗浄可能な真空圧センサーです。半導体製造装置向けの高真空度測定用途に適しています。
MEMSピラニ式真空センサー「PVC1000シリーズ」は、超低消費電力、長寿命、最小限のメンテナンス、低コストを実現しつつ、真空測定手段の小型化を実現いたします。 測定範囲 10^-3～30 mmHg 5mmHg以下の範囲で±5%の高精度 湿度: 0~100% (非結露) 温度補正範囲: -40 ～ 125℃ 耐久圧力: 27.5Bar
この製品へのお問い合わせ
基本情報
特長 ・超低消費電力＜5mW ・高速応答速度＜5m秒 ・0.1㎤程度のガス量 ・低ノイズ ・高解像度 ・オンチップ温度検出 ・長期安定性 ・洗浄可能
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置向けの高真空度測定用途に
カタログ（9）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
オールデバイス株式会社（旧オールセンサーズアジアパシフィック株式会社）は、2015年7月1日に産声をあげました。 独自のセンシング技術を用いたセンサは特に微圧・低圧において高い精度と安定性を実現し、医療・産業・IoTなど微小圧を高精度で計測されたい企業様のご支持を得てまいりました。お客様からのご要望は微差圧に留まらず多くのご相談、ご用命を頂くようになり、今では圧力・流量・風速などの流体計測のみならず温度・酸素など各種センサからコンサルティング業務に至るまでお役に立てるようになりました。 この度、この一連の流れから社名をいかなる相談にも対応できる企業としてオールデバイス株式会社へと変更させて頂きました。社名変更は致しましたが、今後も今までと変わることなく、オールセンサーズのアジアパシフィック地域における正式な代表出先機関として引き続き皆さまのサポートをさせて頂きます。 更なる専門性と国際的な視野に磨きをかけ、より多くのお客様のご期待に応えてく所存です。 オールデバイス株式会社 代表取締役 秦 哲夫
