プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定。
『VR300DSE-2P』は、当社のコア技術であるプローブ駆動コントロール システムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、 シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの 四探針測定器です。 また当社では、全機能搭載モデルの「VR300DSE」や、卓上型モデル 「VR300DE」「VR250」などもご用意しております。 【特長】 ■プローブ駆動をレシピにてセットアップ可能 ■高スループット化によるCoOの低減 ■2ロードポート対応 ■プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載 ■抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他特長】 ■プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定 ■SEMI E95準拠の画面により操作性向上 ■300mmライン用自動化システム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【アプリケーション】 ■シリコン、ポリシリコン等の材料関連 ■イオン注入、拡散、メタル膜等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社国際電気セミコンダクターサービス（KSS）は、世界トップレベルのエレクトロニクスメーカーである国際電気（株）のサービス部門が1989年（平成元年）に分離・独立したフィールドサービス企業です。 現在、（株）Kokusai Electricグループの半導体製造装置事業セグメントの中期経営計画の達成に向け、当社のサービスビジネス分野では、お客様の生産効率向上やレガシー装置の延命などに寄与するサービスプロダクトの開発・提供および、電子応用ビジネス分野では、ニッチトップの製品開発・提供とお客様に信頼されるものづくり体制の構築に取り組んでおります。 今後とも（株）Kokusai Electricグループの一員として「KSS：Kindness + Speed + Solution」をスローガンに、お客様に信頼されご満足いただけるサービスを提供するプロの集団として社会に貢献してまいります。