精製装置出口の不純物ガスが低濃度!水分1ppm.vol.以下で酸素0.1ppm.vol.以下
『グローブボックス』は、ご要求により多様な設計製作が可能な ガス循環精製装置です。 雰囲気ガスとして主に空気、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガス などを使用される場合のグローブボックス。グローブボックス内の 雰囲気ガスの置換方式は大気圧置換、真空置換などを採用しています。 【特長】 ■ガス循環方式は摺胴部動部の無いブロワーを採用しているため 低騒音・長寿命 ■空冷式のため冷却水が不要 ■装置内の配管及び各種弁はSUS材を使用 ■空圧弁及び手動弁はベローズ式またはダイアフラム式を 採用しているため精製ガス純度が高い ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【その他の特長】 ■タッチパネル方式のため操作は簡単 ■シーケンサ内蔵で他の装置との信号のやり取りも可能 ■精製ガス純度・露点・酸素濃度のトレンドグラフの表示と ロギングが可能 ■グローブボックスは、Heリークディレクターを用いたスニファー法 漏洩試験を行っているため低リーク など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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