RF電源(高周波電源)・マッチングボックスなら当社におまかせください
当社では、液晶基板・半導体製造工程において使用される製造装置に搭載する プラズマ用高周波電源、マッチングユニット及び計測器等の設計、製造、 販売及び技術サービスの提供を行っております。 大幅な小型化と部品共通化による納期短縮に成功したTXシリーズをはじめ、 従来機と比較して高さ・重量共に1/5以下のTSシリーズなどを取り揃えております。 【ラインアップ(電源)】 ■AXシリーズ ■TXシリーズ ■TSシリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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【その他のラインアップ】 ■AWシリーズ 計測器 ■ACA チャンバーアナライザー ■AMVシリーズ マッチングユニット ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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当社では、RF電源(高周波電源)、マッチングボックスの製造・販売を 行っております。 信頼性の高いプラズマ用電源とインピーダンス整合装置、 計測・モニター装置の提供を通じて、プラズマ用電源関連製品の トータルサービスとトータルソリューションを目指しています。
