レーザの用途別にカラーと仕様を分類し、様々なニーズに対応！
『GIGANEX』は、当社が半導体リソグラフィ用光源の エキシマレーザ製造から得た技術とノウハウを集結した先進のエキシマレーザです。 FPD製造プロセス、フレキシブルデバイス製造プロセス、半導体製造 プロセスなどの応用分野に期待できます。 【特性】 ■短波長(248nm・351nm) ■高出力(120W～600W) ■高周波(4000Hz～6000Hz) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ラインアップ】 ■XeFレーザ仕様 ・G120XZ/GT200XZ/GT480XZ ■KrFレーザ仕様 ・G200K/G300K/GT600K ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
当社は、2000年に半導体産業を支える先進企業として設立以来、 半導体リソグラフィ装置向けに新しいエキシマレーザを次々と 製品化し続けています。 常に市場のニーズを優先し研究開発、製造、テクニカルサポートに至るまで、 グローバルな事業戦略を基礎に挑戦し続けます。